오존발생기
CN-1(반도체용) 산업용 오존발생기
용도 및 특징
- 상용오존농도 220/㎥(약 15%)
- 반도체 장비용
- 고농도 오존생성
- SV, PV Digital 설정 및 표시
- 외부접점을 통한 오존발생기 동작제어 기능
상세제원
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모델명 |
CN-1 |
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오존농도 |
220g/㎥ |
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산소 1.0LPM 기준 |
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소비전력 |
MAX 0.7KW (산소발생기, 냉각기 별도) |
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전원사양 |
220V 1Φ 60Hz |
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냉각방식 |
수냉식 전용 |
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냉각수 요구량 |
3LPM 이상 |
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유량조절 |
Flow Controller |
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오존농도 조절 |
Digital Volume |
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표시장치 |
1. LCD Display -RUN, PURGE, ERROR, PV[%], SV[W] 표시 |
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2. 측정기LCD : 오존 발생 농도값 표시 |
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3. Controller : Remote 동작 시 목표 오존농도 설정 |
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4. Flow Controller : 공급가스 유량 설정 |
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5. O₃압력계 : 오존발생기 내부압력 표시 |
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오존발생량제어 |
소비전력기준 12～100% 조절 |
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Gas Inlet, Outlet Fitting |
1/4"(6.3Φ) |
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외함주요재질 |
Stainless Steel, Aluminum |
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크기(WXDXH) |
483 × 450 × 847(mm) |
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제품중량 |
약 60Kg (산소발생기, 냉각기 별도) |
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동작조건 |
⦁ 정상운전온도 (0℃~30℃) ⦁ 통풍이 잘되고 습기가 없는 곳 |
외형도
